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发明名称 OBJECT TRASFER DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5419673(A) 申请公布日期 1979.02.14
申请号 JP19770084255 申请日期 1977.07.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAGATOMO HIROTO;TAKAGAKI TETSUYA;OKUDA RIYOUICHI
分类号 B65G47/74;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B65G47/74
代理机构 代理人
主权项
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