发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5419677(A) 申请公布日期 1979.02.14
申请号 JP19780076623 申请日期 1978.06.26
申请人 IBM 发明人 BAIIKUO FUEN;JIYOOJI CHIENGUUKUO FUEN
分类号 H01L29/73;H01L21/033;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/331;H01L21/8222 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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