发明名称 |
METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5419677(A) |
申请公布日期 |
1979.02.14 |
申请号 |
JP19780076623 |
申请日期 |
1978.06.26 |
申请人 |
IBM |
发明人 |
BAIIKUO FUEN;JIYOOJI CHIENGUUKUO FUEN |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/033;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/331;H01L21/8222 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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