| 发明名称 |
ELEKTRONENBUNDELINRICHTING. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL7808162(A) |
申请公布日期 |
1979.02.13 |
| 申请号 |
NL19780008162 |
申请日期 |
1978.08.03 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. TE ARMONK, NEW YORK, VER.ST.V.AM. |
发明人 |
|
| 分类号 |
H01L21/027;H01J37/147;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30;H01J37/14 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
