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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6258041(U)
申请公布日期
1987.04.10
申请号
JP19850148033U
申请日期
1985.09.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/68;B65H1/00;B65H9/06;G05D3/00;H01L21/67;H05K3/30;H05K13/04;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
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