发明名称
摘要
申请公布号 JPS6258041(U) 申请公布日期 1987.04.10
申请号 JP19850148033U 申请日期 1985.09.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;B65H1/00;B65H9/06;G05D3/00;H01L21/67;H05K3/30;H05K13/04;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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