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发明名称
PASSIVATION METHOD FOR SILLCON ELEMENT SURFACE
摘要
申请公布号
JPS5417671(A)
申请公布日期
1979.02.09
申请号
JP19770082695
申请日期
1977.07.11
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
MIURA SHIYUNJI;TAKUSAGAWA HIROHISA
分类号
H01L21/31;H01L21/316
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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