| 发明名称 |
INSPECTING DEVICE FOR INSULATOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6279374(A) |
申请公布日期 |
1987.04.11 |
| 申请号 |
JP19850218113 |
申请日期 |
1985.10.02 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ISHIDA TOSHIHARU;YOSHIDA TORU |
| 分类号 |
H01L29/78;G01R31/12;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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