| 发明名称 |
DEFECT INSPECTION OF THIN FILM TRANSISTOR ARRAY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6352177(A) |
申请公布日期 |
1988.03.05 |
| 申请号 |
JP19860311066 |
申请日期 |
1986.12.29 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NODA HITOSHI;TAKAHARA HIROSHI;TAMURA TATSUHIKO |
| 分类号 |
G02F1/136;G02F1/13;G02F1/1368;G09F9/00;G09F9/30;H01L21/336;H01L21/66;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
G02F1/136 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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