发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND PRODUCTION OF THE SAME
摘要
申请公布号 JPS5416188(A) 申请公布日期 1979.02.06
申请号 JP19770081200 申请日期 1977.07.07
申请人 SEIKO INSTR & ELECTRONICS 发明人 KOJIMA MASAYUKI
分类号 H01L21/8222;G05F3/20;H01L21/761;H01L27/02;H01L27/06;H01L27/07;H03K19/094 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
主权项
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