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发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5415678(A) 申请公布日期 1979.02.05
申请号 JP19770080847 申请日期 1977.07.06
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITOU TAKASHI
分类号 H01L21/70;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/417;H01L29/78 主分类号 H01L21/70
代理机构 代理人
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