发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5414168(A) 申请公布日期 1979.02.02
申请号 JP19770080299 申请日期 1977.07.04
申请人 KIYUUSHIYUU DENKI KK 发明人 IWAMOTO TAKUYA
分类号 H01L21/027;H01L21/302 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址