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发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5414159(A) 申请公布日期 1979.02.02
申请号 JP19770079483 申请日期 1977.07.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UCHIYAMA YORIHIRO;TANIGAWA YOSHIKI
分类号 G08B17/06;H01L21/52;H01L23/48 主分类号 G08B17/06
代理机构 代理人
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