发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5413781(A) 申请公布日期 1979.02.01
申请号 JP19770079315 申请日期 1977.07.01
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 NAKASHIMA SHIGERU;HENMI MANABU;YORIUME YUTAKA
分类号 H01L21/76;H01L21/306 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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