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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE2832740(A1) 申请公布日期 1979.02.01
申请号 DE19782832740 申请日期 1978.07.26
申请人 FUJITSU LTD. 发明人 ABE,RYOJI,DIPL.-ING.;SERIGANO,MAKOTO;TABUCHI,SHUJI
分类号 H01L21/306;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/288 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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