发明名称
摘要
申请公布号 DE2458680(B2) 申请公布日期 1979.02.01
申请号 DE19742458680 申请日期 1974.12.11
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO 发明人 SUZUKI, TAKAYA, HITACHI (JAPAN)
分类号 C23C16/02;H01L21/00;H01L21/316;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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