发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5413779(A) 申请公布日期 1979.02.01
申请号 JP19770079045 申请日期 1977.07.04
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 EGAWA HIDEHARU;SUZUKI YASOJI;MATSUKI KOUJI
分类号 H01L21/8238;H01L21/8247;H01L27/08;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/417;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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