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发明名称 VACUUM PUMPS
摘要 <p>VACUUM PUMP An integral vacuum pump for producing ultra-high vacuums including, in combination, axial turbomolecular, centrifugal compressor and vortex diode pumping means.</p>
申请公布号 CA1047464(A) 申请公布日期 1979.01.30
申请号 CA19750231282 申请日期 1975.07.11
申请人 AMERICAN OPTICAL CORPORATION 发明人 SHOULDERS, KENNETH R.
分类号 F04D19/04;G01Q30/12;(IPC1-7):04D21/00 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
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