发明名称 SURFACE TREATMENT UNIT
摘要
申请公布号 JPS5411669(A) 申请公布日期 1979.01.27
申请号 JP19770076992 申请日期 1977.06.27
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 BONSHIHARA MANABU
分类号 H01L23/50;H01L21/48;H01L21/60;H01L21/68;H01L23/48 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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