发明名称 |
DEVICE FOR FEEDING AND POSITIONING FILM CARRIER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5411664(A) |
申请公布日期 |
1979.01.27 |
申请号 |
JP19770076930 |
申请日期 |
1977.06.27 |
申请人 |
SHINKAWA SEISAKUSHO KK |
发明人 |
CHIBA SEIICHI;SUGIURA KAZUO |
分类号 |
H01L21/68;G05G23/00;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/68 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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