发明名称 |
TREATMENT DEVICE OF RADIOACTIVE EXHAUST GAS |
摘要 |
<p>PURPOSE:To provide prevention of atmospheric pollution by treating vacuum pump exhaust gas, exhausting after processed with an activated carbon adsorption device.</p> |
申请公布号 |
JPS5410900(A) |
申请公布日期 |
1979.01.26 |
申请号 |
JP19770075563 |
申请日期 |
1977.06.27 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAITOU MICHIO |
分类号 |
B01D53/04;G21F9/00;G21F9/02 |
主分类号 |
B01D53/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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