发明名称 TREATMENT DEVICE OF RADIOACTIVE EXHAUST GAS
摘要 <p>PURPOSE:To provide prevention of atmospheric pollution by treating vacuum pump exhaust gas, exhausting after processed with an activated carbon adsorption device.</p>
申请公布号 JPS5410900(A) 申请公布日期 1979.01.26
申请号 JP19770075563 申请日期 1977.06.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAITOU MICHIO
分类号 B01D53/04;G21F9/00;G21F9/02 主分类号 B01D53/04
代理机构 代理人
主权项
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