摘要 |
<P>L'appareil pour dépôt de vapeurs sous vide selon l'invention comprend : un plateau tournant 9 pour supporter des substrats 8 sur lesquels doit être déposée la vapeur, des nacelles d'évaporation 10 et 11, des sources d'alimentation 25 et 26 destinées au chauffage des nacelles, des obturateurs 16 et 17 entraînés par des moyens d'entraînement 35 et 36, au moins un dispositif de contrôle de dépôt 18 à quartz, un dispositif de couplage 19, un compteur de fréquence numérique 29.</P>
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