| 发明名称 |
PRODUCTION OF SMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5410683(A) |
申请公布日期 |
1979.01.26 |
| 申请号 |
JP19770075519 |
申请日期 |
1977.06.27 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE |
发明人 |
SAKAI TETSUSHI;YAMAUCHI HIROKI;KOBAYASHI YOSHIHARU |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/331;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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