发明名称
摘要
申请公布号 JPS541626(B2) 申请公布日期 1979.01.26
申请号 JP19760143814 申请日期 1976.11.29
申请人 发明人
分类号 B23Q7/00;B65G47/00;H01L21/50;H01L21/68 主分类号 B23Q7/00
代理机构 代理人
主权项
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