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发明名称 NONNTHERMAL ELECTRON BEAM PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPS5410678(A) 申请公布日期 1979.01.26
申请号 JP19770074546 申请日期 1977.06.24
申请人 ZEISS JENA VEB CARL 发明人 EBERUHARUTO HAAN
分类号 H01L21/027;H01L21/26 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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