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发明名称 METHOD OF PURIFYING GASES FROM TATRAFLUORIC SILICON
摘要
申请公布号 SU643175(A1) 申请公布日期 1979.01.25
申请号 SU19772492811 申请日期 1977.06.02
申请人 LE GNI PI OSNOVNOJ KHIM PROMY 发明人 ASHIROV ANNAMURAT,SU;SHLYAPINTOKH LEONID P,SU;SADYKOV KURBAN G,SU
分类号 (IPC1-7):B01D53/16 主分类号 (IPC1-7):B01D53/16
代理机构 代理人
主权项
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