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发明名称
摘要
申请公布号	JPS541550(B2)	申请公布日期	1979.01.25
申请号	JP19740076792	申请日期	1974.07.03
申请人		发明人
分类号	H01J29/39;H01L21/316;H01L27/14;H01L31/0248	主分类号	H01J29/39
代理机构		代理人
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