| 发明名称 |
FORMING METHOD FOR FINE ELECTRODE PATTERN OF SEMICONUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS548973(A) |
申请公布日期 |
1979.01.23 |
| 申请号 |
JP19770075179 |
申请日期 |
1977.06.23 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NAKATANI MASAAKI;KADOWAKI YOSHINOBU;MITSUI SHIGERU |
| 分类号 |
H01L29/80;H01L21/28;H01L21/3213;H01L21/338;H01L29/78;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L29/80 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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