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发明名称 ELECTRON BEAM TESTER
摘要
申请公布号 JPH04262353(A) 申请公布日期 1992.09.17
申请号 JP19910023103 申请日期 1991.02.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 KATO JUNICHI;TODOKORO HIDEO;SHINADA HIROYUKI;SUZUKI HIROSHI;ONISHI TADASHI;SUZUKI TATSUTO;TACHIBANA MITSUGI
分类号 H01J37/147;G01R31/302;H01J37/28 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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