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发明名称 ONE SIDE ETCHING METHOD OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS548466(A) 申请公布日期 1979.01.22
申请号 JP19770073232 申请日期 1977.06.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 YOKOYAMA HIROSHI;MURAYAMA YUKIO
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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