| 发明名称 |
MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS547860(A) |
申请公布日期 |
1979.01.20 |
| 申请号 |
JP19770073546 |
申请日期 |
1977.06.20 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
GAMOU HIROSHI;YAMADA TOMIHISA |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/26;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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