发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS546769(A) 申请公布日期 1979.01.19
申请号 JP19770072447 申请日期 1977.06.17
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 UJI TOSHIO;MATSUMOTO YOSHINARI
分类号 C30B19/00;H01L21/20;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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