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发明名称 Wafer probe station having auxiliary chucks
摘要
申请公布号 US5237267(A) 申请公布日期 1993.08.17
申请号 US19920890970 申请日期 1992.05.29
申请人 CASCADE MICROTECH, INC. 发明人 HARWOOD, WARREN K.;TERVO, PAUL A.;WARNER, RICHARD H.
分类号 G01R31/26;G01R1/067;H01L21/66;H01L21/683 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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