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发明名称
SURFACE CLEANING METHOD
摘要
申请公布号
JPS546466(A)
申请公布日期
1979.01.18
申请号
JP19770071100
申请日期
1977.06.17
申请人
HITACHI LTD
发明人
TOMOSAWA AKIHIRO
分类号
H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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