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发明名称 IONNINJECTING METHOD
摘要
申请公布号 JPS546457(A) 申请公布日期 1979.01.18
申请号 JP19770072594 申请日期 1977.06.16
申请人 SANYO ELECTRIC CO 发明人 YONEDA KIYOSHI
分类号 H01L21/266;H01L21/265 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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