发明名称 FOTOLEITENDES MATERIAL UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE2810859(A1) 申请公布日期 1979.01.18
申请号 DE19782810859 申请日期 1978.03.13
申请人 VARIAN ASSOCIATES INC. 发明人 FEINLEIB,MORRIS
分类号 C01G11/02;G03G5/08;G03G5/087;H01L31/0248;(IPC1-7):G03G5/08 主分类号 C01G11/02
代理机构 代理人
主权项
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