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发明名称 CHARGED-PARTICLE ANALYZER
摘要
申请公布号 US4135088(A) 申请公布日期 1979.01.16
申请号 US19770810970 申请日期 1977.06.28
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 ISHIKAWA, ISAO;ITOH, MICHIYASU;USAMI, KATSUHISA
分类号 G01N23/227;G01N23/225;G05B7/02;H01J49/44;H01J49/48;(IPC1-7):H01J39/00 主分类号 G01N23/227
代理机构 代理人
主权项
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