| 发明名称 |
METHOD OF AND DEVICE FOR AUTOMATICALLY POSITIONING WORKPIECE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS544574(A) |
申请公布日期 |
1979.01.13 |
| 申请号 |
JP19780068738 |
申请日期 |
1978.06.07 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
YURUGEN FUROOJIEN;HERUMUUTO RESHIYUKE |
| 分类号 |
G03F9/00;H01J37/304;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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