发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS544074(A) 申请公布日期 1979.01.12
申请号 JP19780068232 申请日期 1978.06.05
申请人 RCA CORP 发明人 UOJIETSUKU ROSUNOUSUKI
分类号 H01L21/306;H01L21/033;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/761 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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