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经营范围
发明名称
CLEANING METHOD OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPS544071(A)
申请公布日期
1979.01.12
申请号
JP19770068797
申请日期
1977.06.13
申请人
FUJITSU LTD
发明人
FUJII MIKIO;MIYAJI HIDEKI;ONO YOSHINOBU
分类号
B08B3/12;H01L21/302;H01L21/304
主分类号
B08B3/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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