发明名称 CLEANING METHOD OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS544071(A) 申请公布日期 1979.01.12
申请号 JP19770068797 申请日期 1977.06.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUJII MIKIO;MIYAJI HIDEKI;ONO YOSHINOBU
分类号 B08B3/12;H01L21/302;H01L21/304 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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