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发明名称 LOW PRESSURE DEPOSITION METHOD FOR IMPURITY
摘要
申请公布号 JPS544063(A) 申请公布日期 1979.01.12
申请号 JP19770068908 申请日期 1977.06.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 NIINO KAORU
分类号 H01L21/223 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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