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发明名称 ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS543476(A) 申请公布日期 1979.01.11
申请号 JP19770068128 申请日期 1977.06.09
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB;RIKAGAKU KENKYUSHO 发明人 GOTOU HIDEKAZU;SOUMA TAKASHI;IDESAWA MASANORI;GOTOU NOBUO
分类号 H01L21/027;H01L21/26 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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