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发明名称 ACHROMATISCHES OPTISCHES SYSTEM
摘要
申请公布号 DE2828530(A1) 申请公布日期 1979.01.11
申请号 DE19782828530 申请日期 1978.06.29
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 HAYES DILL,FREDERICK;EUGENE TIBBETTS,RAYMOND;STANISLAW WILCZYNSKI,JANUSZ
分类号 H01L21/30;G02B17/00;G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B13/24 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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