| 发明名称 |
INTERFEROMETRISCHES VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG DER AETZRATEN OPAKER SCHICHTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2828507(A1) |
申请公布日期 |
1979.01.11 |
| 申请号 |
DE19782828507 |
申请日期 |
1978.06.29 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
ALVIN HABEGGER,MILLARD |
| 分类号 |
G01B11/06;G01N17/00;(IPC1-7):G01B11/06;B44C1/22;C23F1/00;H01L21/30 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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