首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
METAL FILM PATTERNING METHOD
摘要
PURPOSE:To carry out patterning of good finish with good work efficiency by selectively forming a photoresist film on a wafer and forming a metal film on the whole surface after which a pressurized fluid is sprayed.
申请公布号
JPS542941(A)
申请公布日期
1979.01.10
申请号
JP19770068134
申请日期
1977.06.09
申请人
FUJITSU LTD
发明人
SHIRAI KAZUNARI
分类号
C23C14/04;H01L21/28
主分类号
C23C14/04
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
一种承载台以及覆晶薄膜压接维修设备
密封环
可连接到微电子基板的相反表面的用于测试的转换器以及相关的系统和方法
包括传感器阵列的用于机器人的缓冲器
可变形膜组件的改进
介质项传送
一种去毛刺机及其扫齿机构
膏状肥配肥机和生产方法
X光探测器的探测器模块的中心位置确定方法及系统
气体断路器
一种具有冷藏冷冻功能的混合制冷冰箱
纸箱成型机开槽刀的调节装置
辅助洗衣机和使用该辅助洗衣机的衣物处理装置
适用于多种运行方式的牵引供电系统故障测距方法
一种偏航控制方法与偏航控制系统
一种微乳型金属防锈液及其制备方法
黄瓜抗番木瓜环斑病毒病基因prsv的Indel标记及其应用
一种从荷叶中提取的抗氧化保存剂及其在制备LDPE膜中的应用
基座、包括基座的组合件、组装方法和组装设备
一种金属氧化物复合物及其形成方法