发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER
摘要 PURPOSE:To ensure the automatic read in of marks, by giving a symbol representing that the marks are close to the symbol near the mark describing region on the wafer surface.
申请公布号 JPS542059(A) 申请公布日期 1979.01.09
申请号 JP19770067502 申请日期 1977.06.07
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YOKOYAMA MASAKAZU
分类号 H01L21/30;H01L21/02;H01L21/304 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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