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发明名称
SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
PURPOSE:To ensure the automatic read in of marks, by giving a symbol representing that the marks are close to the symbol near the mark describing region on the wafer surface.
申请公布号
JPS542059(A)
申请公布日期
1979.01.09
申请号
JP19770067502
申请日期
1977.06.07
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
YOKOYAMA MASAKAZU
分类号
H01L21/30;H01L21/02;H01L21/304
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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