| 发明名称 | 耐磨粒子、其生产方法以及其使用方法 | ||
| 摘要 | 公开了一种耐磨粒子其平均粒子大小不超过2μm并且包括100份重量氧化铝和/或氧化硅和5-25份重量氧化铈形式的铈。也公开了其生产方法以及使用耐磨粒子弄平半导体上的绝缘膜的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1141326A | 申请公布日期 | 1997.01.29 |
| 申请号 | CN96110702.2 | 申请日期 | 1996.05.22 |
| 申请人 | 住友化学工业株式会社 | 发明人 | 上田和正;竹内美明 |
| 分类号 | C09K3/14;C04B35/10;C04B35/14 | 主分类号 | C09K3/14 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 杨丽琴 |
| 主权项 | 1.一种平均粒子大小为2μm或更小的耐磨粒子，包括(a)100份重量选自氧化铝和氧化硅的至少一种金属氧化物，和(b)5-25份重量的氧化铈的形式的铈。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||