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发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54977(A) 申请公布日期 1979.01.06
申请号 JP19770067161 申请日期 1977.06.06
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 TAKABAYASHI SEIICHIROU
分类号 H01L21/70;G21D1/00;H01L21/28;H01L21/52;H01L21/58;H01L29/78 主分类号 H01L21/70
代理机构 代理人
主权项
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