| 发明名称 |
MANUFACTURE FOR MOS TYPE INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54990(A) |
申请公布日期 |
1979.01.06 |
| 申请号 |
JP19770065760 |
申请日期 |
1977.06.06 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MASUDA HIROO;SUNAMI HIDEO;ITOU KIYOO |
| 分类号 |
H01L21/8234;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;H01L27/088;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/8234 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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