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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54864(A) 申请公布日期 1979.01.06
申请号 JP19770065453 申请日期 1977.06.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAKURAI JIYUNJI
分类号 H01L29/78;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/31 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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