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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND STEAM USED FOR THE SAME
摘要
申请公布号
JPS54571(A)
申请公布日期
1979.01.05
申请号
JP19770064838
申请日期
1977.06.03
申请人
HITACHI LTD
发明人
TOKUE TOSHIO;SUZUKI SATORU;MUTOO YOSHIMI
分类号
H01L23/12
主分类号
H01L23/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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