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发明名称 ELEMENT ISOLATING METHOD
摘要
申请公布号 JPS54590(A) 申请公布日期 1979.01.05
申请号 JP19770064823 申请日期 1977.06.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAIDA HIROJI;KOGIRIMA MASAHIKO;KAWAMURA MASAO;NANBA MITSUO;MAKI MICHIYOSHI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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